用途

主に半導体製造ラインなどの設備に薬液昇温装置として使用されています。

特徴

• 接液部は全てフッ素樹脂を使用していますので、あらゆる薬液の加温装置として利用ができ、また不純物の溶出が皆無です。
• 槽外での加温を行うことにより汚染トラブルを無くしました。
• コンパクトな設計で、従来装置への組み込み、設置が容易です。
• 過熱警報・ヒーター断線・液漏れ警報装置付きで高い安全性を誇ります。
• 標準タイプとして、2KW、4.5KW、7KW、10Kwを取り揃えております。